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Hochtemperaturstoffsensor

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Birkhofer, Thomas ; Maunz, Werner ; Moos, Ralf ; Müller, Ralf ; Müller, Willi ; Plog, Carsten:
Hochtemperaturstoffsensor.
DE10031976 (2000)

Official URL: Volltext

Abstract in another language

Die Erfindung betrifft eine Hochtemperaturstoffsensor, umfassend
- ein Substrat (4),
- eine Anordnung (6), um den Sensor auf Temperatur zu bringen und zu halten,
und
- eine schichtartige Kondensatorstruktur (38) mit Strukturgrößen kleiner als 50 µm, auf die eine Funktionsschicht (18) aufgebracht ist.

Erfindungsgemäß wurde die schichtartige Kondensatorstruktur (38) folgendermaßen erzeugt:
- Aufbringen einer geschlossenen oder bereits vorstrukturierten elektrisch leitfähigen Schicht als Vorläufer der Kondensatorstruktur (38) mittels Dickschichttechnik,
- Strukturierung der elektrisch leitfähigen Schicht mittels photolithographischem Verfahren.

Further data

Item Type: Patent
Patent Applicant: Dornier GmbH, 88039 Friedrichshafen
Date of the patent's registration: 30 June 2000
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Engineering Science
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials > Chair Functional Materials - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos
Profile Fields > Advanced Fields > Advanced Materials
Research Institutions > Research Centres > Bayreuth Center for Material Science and Engineering - BayMAT
Faculties
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials
Profile Fields
Profile Fields > Advanced Fields
Research Institutions
Research Institutions > Research Centres
Result of work at the UBT: No
DDC Subjects: 600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited: 07 Dec 2015 08:00
Last Modified: 04 Apr 2016 08:06
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/24708