Hochtemperaturstoffsensor

Titelangaben

Birkhofer, Thomas ; Maunz, Werner ; Moos, Ralf ; Müller, Ralf ; Müller, Willi ; Plog, Carsten:
Hochtemperaturstoffsensor.
DE10031976 (2000)

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Hochtemperaturstoffsensor, umfassend
- ein Substrat (4),
- eine Anordnung (6), um den Sensor auf Temperatur zu bringen und zu halten,
und
- eine schichtartige Kondensatorstruktur (38) mit Strukturgrößen kleiner als 50 µm, auf die eine Funktionsschicht (18) aufgebracht ist.

Erfindungsgemäß wurde die schichtartige Kondensatorstruktur (38) folgendermaßen erzeugt:
- Aufbringen einer geschlossenen oder bereits vorstrukturierten elektrisch leitfähigen Schicht als Vorläufer der Kondensatorstruktur (38) mittels Dickschichttechnik,
- Strukturierung der elektrisch leitfähigen Schicht mittels photolithographischem Verfahren.