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Mittels aerosolbasierter Kaltabscheidung bei Raumtemperatur hergestellte schichtförmige NTC-Thermistorbauelemente

Title data

Schubert, Michaela ; Reichl, Christian ; Münch, Christian ; Kita, Jaroslaw ; Moos, Ralf:
Mittels aerosolbasierter Kaltabscheidung bei Raumtemperatur hergestellte schichtförmige NTC-Thermistorbauelemente.
2019
Event: Sensoren und Messsysteme 2019 , 25.-26.6.2019 , Nürnberg.
(Conference item: Conference , Poster )
DOI: https://doi.org/10.5162/sensoren2019/P1.15

Abstract in another language

In der vorliegenden Arbeit konnte gezeigt werden, dass eine aerosolbasierte Kaltabscheidung eines produktionsnahen NTCR-Keramikpulvers zu mechanisch stabilen Schichten möglich ist. Die Schichten zeichnen sich durch eine dichte nanokristalline Schichtstruktur und eine sehr gute Substratanbindung aus. Im ersten Versuchsteil konnte sowohl auf Edelstahl- als auch auf Al₂O₃-Substraten ein linearer Zusammenhang zwischen der erzielten Schichtdicke der aerosolkaltabgeschiedenen NTCR-Schicht und der Anzahl an Überfahrtsschleifen nachgewiesen werden. Basierend auf diesen Erkenntnissen wurden im zweiten Versuchsteil chipbasierte NTCR-Bauteile der Baugröße 1206 mit 10 und 20 Überfahrtsschleifen hergestellt. Die aerosolbasierte Kaltabscheidung des produktionsnahen Keramikpulvers erfolgte hierzu auf ein mit Sollbruchkanten und siebgedruckten Au-Interdigitalelektrodenstrukturen versehenes Al₂O₃-Substrat. Die Bauteile zeigen reproduzierbar die typische Charakteristik von konventionell gesinterten NTCR-Volumenkeramiken. Auch konnte der Nachweis erbracht werden, dass durch die Variation der Anzahl an Überfahrtsschleifen die Schichtdicke der aerosolkaltabgeschiedenen NTCR-Schicht und damit deren elektrische Widerstand gezielt eingestellt werden kann. Die charakteristische B-Konstante ändert sich dabei nicht.

Further data

Item Type: Conference item (Poster)
Refereed: Yes
Institutions of the University: Faculties > Faculty of Engineering Science
Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials > Chair Functional Materials - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos
Profile Fields > Advanced Fields > Advanced Materials
Research Institutions > Research Centres > Bayreuth Center for Material Science and Engineering - BayMAT
Result of work at the UBT: Yes
DDC Subjects: 600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited: 04 Jul 2019 06:40
Last Modified: 04 Jul 2019 07:06
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/49815