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Schubert, Michaela ; Reichl, Christian ; Münch, Christian ; Kita, Jaroslaw ; Moos, Ralf:
Mittels aerosolbasierter Kaltabscheidung bei Raumtemperatur hergestellte schichtförmige NTC-Thermistorbauelemente.
2019
Veranstaltung: Sensoren und Messsysteme 2019
, 25.-26.6.2019
, Nürnberg.
(Veranstaltungsbeitrag: Kongress/Konferenz/Symposium/Tagung
,
Poster
)
DOI: https://doi.org/10.5162/sensoren2019/P1.15
Abstract
In der vorliegenden Arbeit konnte gezeigt werden, dass eine aerosolbasierte Kaltabscheidung eines produktionsnahen NTCR-Keramikpulvers zu mechanisch stabilen Schichten möglich ist. Die Schichten zeichnen sich durch eine dichte nanokristalline Schichtstruktur und eine sehr gute Substratanbindung aus. Im ersten Versuchsteil konnte sowohl auf Edelstahl- als auch auf Al₂O₃-Substraten ein linearer Zusammenhang zwischen der erzielten Schichtdicke der aerosolkaltabgeschiedenen NTCR-Schicht und der Anzahl an Überfahrtsschleifen nachgewiesen werden. Basierend auf diesen Erkenntnissen wurden im zweiten Versuchsteil chipbasierte NTCR-Bauteile der Baugröße 1206 mit 10 und 20 Überfahrtsschleifen hergestellt. Die aerosolbasierte Kaltabscheidung des produktionsnahen Keramikpulvers erfolgte hierzu auf ein mit Sollbruchkanten und siebgedruckten Au-Interdigitalelektrodenstrukturen versehenes Al₂O₃-Substrat. Die Bauteile zeigen reproduzierbar die typische Charakteristik von konventionell gesinterten NTCR-Volumenkeramiken. Auch konnte der Nachweis erbracht werden, dass durch die Variation der Anzahl an Überfahrtsschleifen die Schichtdicke der aerosolkaltabgeschiedenen NTCR-Schicht und damit deren elektrische Widerstand gezielt eingestellt werden kann. Die charakteristische B-Konstante ändert sich dabei nicht.
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Veranstaltungsbeitrag (Poster) |
|---|---|
| Begutachteter Beitrag: | Ja |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien > Lehrstuhl Funktionsmaterialien - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Materialzentrum - BayMAT Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien Profilfelder Profilfelder > Advanced Fields Forschungseinrichtungen Forschungseinrichtungen > Forschungszentren |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften |
| Eingestellt am: | 04 Jul 2019 06:40 |
| Letzte Änderung: | 04 Jul 2019 07:06 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/49815 |