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Laser Processing of Materials for MCM-C Applications

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Kita, Jaroslaw ; Gollner, Egmont ; Moos, Ralf:
Laser Processing of Materials for MCM-C Applications.
2008
Veranstaltung: 2nd Electronic System-Integration Technology Conference : ESTC 2008 , 01.-04.09.2008 , London, Großbritannien.
(Veranstaltungsbeitrag: Kongress/Konferenz/Symposium/Tagung , Vortrag )

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Abstract

Application of lasers for MCM-C (ceramic multichip modules) technology offers an opportunity to miniaturize passive elements as well as whole substrates. At present, the laser processed thick-film conductive lines can be as small as 20 mum. Processing of unfired LTCC tapes allows achieving hot-plate beams with widths of 250 mum. To realize such fine structures by laser cutting, some understanding of the nature of interaction of the laser beam with the material is necessary. Application of different laser types for microelectronic packaging was discussed earlier, e.g. in. In most cases however, Nd:YAG lasers were mainly applied for patterning PCBs, polymers, or silicon wafers, whereas for fired ceramics CO2-lasers were used. This paper discusses some phenomena that occur during processing of materials used in MCM-C applications: thick-film layers, fired and unfired ceramics with frequency-tripled Nd:YAG laser.

Weitere Angaben

Publikationsform: Veranstaltungsbeitrag (Vortrag)
Begutachteter Beitrag: Ja
Institutionen der Universität: Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien > Lehrstuhl Funktionsmaterialien - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos
Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien
Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Materialzentrum - BayMAT
Profilfelder
Profilfelder > Advanced Fields
Forschungseinrichtungen
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften
Eingestellt am: 27 Apr 2015 13:55
Letzte Änderung: 06 Apr 2016 09:18
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/11298