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Kita, Jaroslaw ; Brandenburg, Annica ; Sudina, Irina ; Moos, Ralf:
High-Temperature Miniaturized Furnace manufactured in HTCC-Technology.
2014
Veranstaltung: 38th International Microelectronics and Packaging IMAPS Conference
, 21.-24.09.2014
, Rzeszów-Czarna, Poland.
(Veranstaltungsbeitrag: Kongress/Konferenz/Symposium/Tagung
,
Sonstige
Präsentationstyp)
Abstract
Results of investigations on 3D shaping of ceramic tapes are presented. One out of many possible applications of such structures is a miniaturized furnace for sintering of critical materials, which could contaminate expensive chamber furnaces, for tempering of single gas sensors, or for fast heating at controlled rate. While LTCC technology can be applied only up to 700 °C, application of HTCC tapes can extend temperature range to above 1000 °C. Therefore, 99.99% alumina tape (ESL 44007) was used. The here-shown miniaturized furnace has a hexagonal form. For a proper temperature distribution in the furnace chamber, the furnace was equipped with six platinum heaters that can be controlled independently. The whole structure has dimensions of 30 mm x 27 mm x 20 mm (W x H x D). The design process was supported by Finite Elements Analysis (FEM). After simulation, the miniaturized furnace was manufactured and successfully tested.
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Veranstaltungsbeitrag (Sonstige) |
|---|---|
| Begutachteter Beitrag: | Ja |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien > Lehrstuhl Funktionsmaterialien - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Materialzentrum - BayMAT Profilfelder Profilfelder > Advanced Fields Forschungseinrichtungen Forschungseinrichtungen > Forschungszentren |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften |
| Eingestellt am: | 11 Mai 2015 11:45 |
| Letzte Änderung: | 15 Apr 2016 07:29 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/13165 |