Literatur vom gleichen Autor/der gleichen Autor*in
plus bei Google Scholar

Bibliografische Daten exportieren
 

Ceramic hot-plates for gas sensors

Titelangaben

Rettig, Frank ; Moos, Ralf:
Ceramic hot-plates for gas sensors.
2003
Veranstaltung: Eurosensors XVII , 21.-24.09.2003 , Guimarães, Portugal.
(Veranstaltungsbeitrag: Kongress/Konferenz/Symposium/Tagung , Poster )

Abstract

A new type of gas sensor is presented that combines the advantages of micro machined silicon gas sensors and ceramic gas sensors. LTCC-technology, which is the cutting edge for manufacturing high density integrable circuits for high frequency applications, is used to manufacture gas sensors. The sensor devices are shaped like already known hot-plate low-power micro machined silicon gas sensors. The low thermal conductivity (3 W/mK) leads to a low power consumption (0.63 W at 400 °C) compared to classical ceramic gas sensors. The inexpensive manufacturing technology is a remarkable advantage for small series compared to the expensive silicon technology. This contribution presents first results for LTCC hot-plate gas sensors that include design, preparation, tests and simulation of such devices. Important thermal properties like power consumption and temperature distribution are measured and compared to FEM-simulations. The results of the simulations are used to improve the temperature distribution on the hot-plate.

Weitere Angaben

Publikationsform: Veranstaltungsbeitrag (Poster)
Begutachteter Beitrag: Ja
Institutionen der Universität: Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien > Lehrstuhl Funktionsmaterialien - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos
Fakultäten
Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien
Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Materialzentrum - BayMAT
Profilfelder
Profilfelder > Advanced Fields
Forschungseinrichtungen
Forschungseinrichtungen > Forschungszentren
Titel an der UBT entstanden: Ja
Themengebiete aus DDC: 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften
Eingestellt am: 29 Jun 2015 12:01
Letzte Änderung: 05 Apr 2016 06:45
URI: https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/15433