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Bruckner, Michaela ; Engelbrecht, Andreas ; Exner, Jörg ; Hanft, Dominik ; Moos, Ralf ; Schubert, Michael ; Stöcker, Thomas:
Vorrichtung zur aerosolbasierten Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM).
DE102015012425A1 (2015)
Volltext
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Anlage zur aerosolbasierten Kaltabscheidung von Pulvern, deren Vakuumkammer, entsprechend des Vorbildes einer Saugglocke, erst während des Prozesses gebildet wird, indem ein Substrat, ein Substratträger, eine Substratauflage oder eine Düsenplatte, direkt bzw. unter Zuhilfenahme einer Dichtung, einen einseitig geöffneten Hohlkörper verschließt. Dadurch ist es möglich das Vakuumkammervolumen, unabhängig von der Substratgröße, zu reduzieren, um so Platz sowie Evakuierungs- bzw. Totzeit einzusparen.
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Patent |
|---|---|
| Datum der Anmeldung des Patents: | 25 September 2015 |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien > Lehrstuhl Funktionsmaterialien - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Materialzentrum - BayMAT Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien Profilfelder Profilfelder > Advanced Fields Forschungseinrichtungen Forschungseinrichtungen > Forschungszentren |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften |
| Eingestellt am: | 03 Apr 2017 08:00 |
| Letzte Änderung: | 03 Apr 2017 08:00 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/36733 |