Vorrichtung zur aerosolbasierten Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM)

Title data

Bruckner, Michaela ; Engelbrecht, Andreas ; Exner, Jörg ; Hanft, Dominik ; Moos, Ralf ; Schubert, Michael ; Stöcker, Thomas:
Vorrichtung zur aerosolbasierten Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM).
DE102015012425A1 (2015)

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Die Erfindung betrifft eine Anlage zur aerosolbasierten Kaltabscheidung von Pulvern, deren Vakuumkammer, entsprechend des Vorbildes einer Saugglocke, erst während des Prozesses gebildet wird, indem ein Substrat, ein Substratträger, eine Substratauflage oder eine Düsenplatte, direkt bzw. unter Zuhilfenahme einer Dichtung, einen einseitig geöffneten Hohlkörper verschließt. Dadurch ist es möglich das Vakuumkammervolumen, unabhängig von der Substratgröße, zu reduzieren, um so Platz sowie Evakuierungs- bzw. Totzeit einzusparen.

Further data

Item Type:	Patent
Date of the patent's registration:	25 September 2015
Institutions of the University:	Faculties > Faculty of Engineering Science Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials > Chair Functional Materials - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos Profile Fields > Advanced Fields > Advanced Materials Research Institutions > Research Centres > Bayreuth Center for Material Science and Engineering - BayMAT Faculties Faculties > Faculty of Engineering Science > Chair Functional Materials Profile Fields Profile Fields > Advanced Fields Research Institutions Research Institutions > Research Centres
Result of work at the UBT:	Yes
DDC Subjects:	600 Technology, medicine, applied sciences > 620 Engineering
Date Deposited:	03 Apr 2017 08:00
Last Modified:	03 Apr 2017 08:00
URI:	https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/36733