Eigenbeheizbare keramische Scheibe

Titelangaben

Hagen, Gunter ; Moos, Ralf ; Ritter, Thomas:
Eigenbeheizbare keramische Scheibe.
DE102016008251 (2016)

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine ionen- oder elektronenleitfähige Keramik, ausgeführt als eigenbeheizbare kreisförmige Scheibe (1), die durch ein integriertes Heizelement (4) (inmitten der Keramik bevorzugt durch Herstellung in Mehrlagen-Technik erzeugt) so beheizt werden kann, dass sich eine radialsymmetrische Temperaturverteilung ergibt. Dann kann der vom Heizelement umrundete Bereich (3) auf eine homogene Temperatur von bis zu 500°C gebracht werden, während der äußere Radius (5) nicht wärmer als 250°C wird. Durch diese niedrige Randtemperatur ist es möglich, Gasräume, die die Oberflächen der Scheibe umgeben, mittels zweier handelsüblicher Kunststoff O-Ringe oder einer Klebung abzudichten. Entscheidend ist dabei, dass der hohe Temperaturgradient über dem Radius der Scheibe nicht zum Bruch des Bauteils führt.