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Dietmann, Stefan ; Moos, Ralf ; Schubert, Michael ; Turwitt, Martin ; Wienand, Karlheinz ; Zinkevich, Matsvei:
Verfahren zur Herstellung eines Sensors, Sensor und Verwendung eines Sensors.
DE 102016119340 (2016)
Volltext
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Sensors, insbesondere eines Temperatursensors, umfassend mindestens eine elektrisch leitfähige Schicht und mindestens eine weitere Schicht, insbesondere eine Passivierungsschicht und/oder eine Isolationsschicht. Erfindungsgemäß wird die elektrisch leitfähige Schicht und/oder die weitere Schicht, insbesondere die Passivierungsschicht und/oder die Isolationsschicht, mittels Aerosol-Abscheidung (Aerosol Deposition Method, ADM) hergestellt.
Weitere Angaben
| Publikationsform: | Patent |
|---|---|
| Patentanmelder: | Heraeus Sensor Technology GmbH, 63450, Hanau, DE |
| Datum der Anmeldung des Patents: | 11 Oktober 2016 |
| Institutionen der Universität: | Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien > Lehrstuhl Funktionsmaterialien - Univ.-Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos Profilfelder > Advanced Fields > Neue Materialien Forschungseinrichtungen > Forschungszentren > Bayreuther Materialzentrum - BayMAT Fakultäten Fakultäten > Fakultät für Ingenieurwissenschaften > Lehrstuhl Funktionsmaterialien Profilfelder Profilfelder > Advanced Fields Forschungseinrichtungen Forschungseinrichtungen > Forschungszentren |
| Titel an der UBT entstanden: | Ja |
| Themengebiete aus DDC: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften |
| Eingestellt am: | 18 Apr 2018 08:30 |
| Letzte Änderung: | 08 Nov 2018 10:49 |
| URI: | https://eref.uni-bayreuth.de/id/eprint/43542 |