Verfahren zur Einstellung der Kristallitgröße bei pulverförmigen Beschichtungsmaterialien für die aerosolbasierte Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM)

Titelangaben

Exner, Jörg ; Glosse, Philipp ; Hanft, Dominik ; Kita, Jaroslaw ; Leupold, Nico ; Moos, Ralf ; Nazarenus, Tobias ; Schubert, Michael ; Schubert, Michaela:
Verfahren zur Einstellung der Kristallitgröße bei pulverförmigen Beschichtungsmaterialien für die aerosolbasierte Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM).
DE102018003289 (2018)

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Einstellung der Kristallitgröße in pulverförmigen Beschichtungsmaterialen für die aerosolbasierte Kaltabscheidung, dergestalt, dass unabhängig von der vorangegangenen Pulversynthese eine Schichtausbildung von dichten und gut haftenden Beschichtungen möglich ist.Durch den Einsatz der Erfindung kann annähernd jeder Werkstoff, welcher grundsätzlich für eine Abscheidung über die aerosolbasierte Kaltabscheidung geeignet ist, zu dichten Schichten verarbeitet werden. Hiermit kann der Fokus bei der Auswahl des kommerziell verfügbaren, pulverförmigen Beschichtungsmaterials auf die gewünschten Materialeigenschaften wie Dotierungsgehalt und Reinheit gelegt werden. Die keramischen Eigenschaften des Ausgangspulvers (Partikelgröße und -verteilung, spezifische Oberfläche und Kristallitgröße) sind hingegen aufgrund der Erfindung unbedeutend, da diese im Rahmen der Vorbehandlung gezielt für die aerosolbasierte Kaltabscheidung eingestellt werden. Dies vereinfacht die Suche und Auswahl des kommerziell verfügbaren, pulverförmigen Beschichtungsmaterials stark.