Verfahren zur trockenen Herstellung von Schichten bestehend aus Halogen-Perowskiten zur Anwendung in optoelektronischen Bauteilen

Titelangaben

Leupold, Nico ; Moos, Ralf ; Panzer, Fabian:
Verfahren zur trockenen Herstellung von Schichten bestehend aus Halogen-Perowskiten zur Anwendung in optoelektronischen Bauteilen.
DE102019008940A1 (2019)

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur trockenen Herstellung von Schichten bestehend aus Halogen-Perowskiten.Bei bisherigen relevanten Prozessrouten zur Herstellung von insbesondere dünnen Perowskitschichten gestaltet sich die Hochskalierung schwierig, werden große Mengen toxischer Lösungsmittel benötigt, ist die Einstellung der exakten Stöchiometrie komplex und/oder ist die Oberflächenqualität der Schichten nicht ausreichend. Zudem sind häufig Perowskitsynthese und Schichtbildung miteinander gekoppelt, was die Optimierung erschwert.Das Verfahren umgeht die genannten Nachteile, indem ein pulverförmiger Ausgangsstoff, der zumindest teilweise aus Halogen-Perowskit besteht, in einem zweistufigen Verfahren in eine Schicht überführt wird. Dabei wird das Ausgangspulver in einen ersten Schritt lösemittelfrei mittels Kaltgasspritzens verarbeitet und in einem anschließenden Schritt durch das Aufgeben eines Drucks nachbehandelt. Dadurch wird einerseits eine gute Anbindung zum Substrat erreicht und andererseits werden durch die Druckbehandlung die Schichteigenschaften verbessert, derart, dass mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Schichten sich für den Einsatz in optoelektronischen und elektrooptischen Bauteilen eignen.