Vorrichtung für die aerosolbasierte Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM) zur Verwendung in flüssigen Umgebungen

Titelangaben

Exner, Jörg ; Kita, Jaroslaw ; Leupold, Nico ; Linz, Mario ; Moos, Ralf ; Nazarenus, Tobias:
Vorrichtung für die aerosolbasierte Kaltabscheidung (Aerosol-Depositions-Methode, ADM) zur Verwendung in flüssigen Umgebungen.
DE102020005726 (2020)

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für die Schichtherstellung über die aerosolbasierte Kaltabscheidung in flüssigen Umgebungen, womit Werkstücke beschichtet werden können, welche teilweise oder vollständig vom flüssigen Medium umgeben sind. Nachdem das System dicht verschlossen wurde, entweder durch Aufsetzen der Beschichtungskammer auf dem Werkstück oder durch Einbringen des Werkstücks in die Beschichtungskammer gefolgt vom Verschließen dieser, wird zunächst das flüssige Medium geeignet abgeführt und anschließend eine für die aerosolbasierte Kaltabscheidung geeignete, trockene Atmosphäre erzeugt. In einer Ausführungsform wird die Oberfläche des Werkstücks zusätzlich für die Beschichtung vorbereitet, oder das Beschichtungspulver vor dem flüssigen Medium geschützt.